涂胶显影机,其工艺精度在很大程度上决定着芯片的良率。目前,我国集成电路前道芯片生产线上绝大多数的涂胶显影机依赖进口。

就在两个月前,一个好消息从沈阳芯源微电子设备股份有限公司传来,由该公司研发中心主任、高级工程师程虎带队研制的涂胶显影机,已完成装调出厂,这款对标国际高端的涂胶显影机目前正进行工艺验证。让业内惊叹的是,攻克难关,程虎团队仅用了5个月的时间。

“研制的每一步都是对耐心的考验,既有时不我待的痛苦,也有推倒重来的折磨。不过做技术创新,把研究成果落地,创造实际价值的过程太有吸引力,你抑制不住那种冲动。”程虎说。

作为国内集成电路工艺设备企业中,唯一一家可以研发制造中高端涂胶显影设备的企业,沈阳芯源通过多年的技术积累及承担国家级重大科研项目,掌握了多种核心技术,并拥有多项自主知识产权。

以这次的涂胶显影设备为例,为尽快完成任务,团队成员放弃周末和假期,放弃了春节与家人团聚的机会,150多个日日夜夜,每天午餐和晚餐都在办公桌上解决,吃饭的同时还能抓紧多看几遍模型,多分析几组试验数据。程虎告诉记者,那段时间团队很多人经常深夜十一二点甚至凌晨下班,早上八点又返回公司继续上班。

新产品问世,严谨的试验数据格外关键。为将精细的活儿做到极致,程虎团队在工作衔接中精准高效,如同接力赛道上的选手,当前一个子任务接近完成的时候,下一棒的设计师已经做好准备起跑。在所有人的努力之下,研发团队以一种前所未有的速度完成了设计制造。

“信念比专业重要,态度比能力重要。从0到1,我们迈出最艰难的一步,从1到100一定会更快。”程虎说。