日前,2021年辽宁五一劳动奖表彰大会隆重举行,沈阳芯源微电子设备股份有限公司研发中心主任、高级工程师程虎喜获辽宁五一劳动奖章。4月28日,程虎接受了本网记者专访。

 程虎1988年出生,2009年毕业于北京航空航天大学机械工程专业,2012年开始从事半导体设备研发工作。2012年到2017年担任沈阳芯源公司设计工程师期间,深入客户现场学习,结合客户实际需求,开发了叠层涂胶显影机、高压水清洗机等多款机型,填补了国内半导体设备细分领域空白。2015年作为主设计师负责开发的InFO工艺涂胶显影设备,批量进入国际一线大厂,打开了国内半导体设备批量销售海外的局面,创造了巨大的社会效益和经济效益。2017年到2020年,他作为设计部副部长,积极推进设备设计标准化、缩短设备设计周期、提高设备成熟度。2020年担任研发中心主任以来,他为解决长期以来半导体设备被国外厂商卡脖子的局面,担当突击队长,带领高产能架构研发突击队,对标国际先进技术和最先进的涂胶显影机,开展芯源跨代产品研发工作,在半年内完成了设备的研发设计和装调出厂,目前该设备正在客户端进行工艺验证。

 多年在半导体设备研发、生产领域扎实奋斗,程虎先后荣获了辽宁省科技进步一等奖、二等奖等奖项,取得各类专利二十余项。谈到这次获得辽宁五一劳动奖章,程虎说:“作为一名普通的技术人员,能获得这个荣誉,对我是一个很大的激励和鼓舞,我倍感身上责任重大。同时也感受到了辽宁各级政府现在对技术创新、对科研人员的高度重视。走创新路、吃技术饭,我们辽宁才能更好地高质量发展,加速振兴。作为半导体设备研发人员,要自觉肩负打破国外设备、技术垄断的使命,我和我的同事们都感到时不我待,必须加倍努力。这个荣誉我很珍惜,我会更踏实地工作在创新研发一线。”

 程虎介绍,目前芯源公司生产的涂胶显影机设备,架构和核心技术完全为自主研发,这对于我国突破半导体设备短板,摆脱相关领域高端制造装备与工艺完全依赖进口的状况,确保国防安全和经济安全具有极其重要的战略意义,市场前景也非常好。