1月26日，大连华邦化学有限公司的生产车间里异常繁忙，工人们正3人一组，忙着给装配好的气体纯化器打包装车。

“临近春节，客户催着交货。这才1月份，我们手里新增的订单就有109台，工人每天都要加班。”车间主任李世海满脸自豪地告诉记者。

2021年跻身国家级专精特新“小巨人”企业的大连华邦，主打产品气体纯化器是半导体芯片生产过程中的关键配套设备。此前，世界上只有美国、日本、韩国能够生产这种设备。通过核心技术攻关，大连华邦研发生产的9N级气体纯化器，产出气体纯度超过国家最高标准3个数量级，技术水平达到国际一流水平，填补了半导体生产关键设备的国内空白。

“在国内12寸等高端产线，我们的市场占有率超过80%；主打产品纯化器应用广泛，包含IC、TFT、IGBT、LED等领域，客户数量超过1000家，市场占有率保持国内第一。”大连华邦总经理侯鹏告诉记者。2021年，公司设备销售量同比增长3倍，销售额同比增长4倍，并且实现海外出口，产品在国际知名的半导体产线得到应用。

这边生产紧锣密鼓，那边科研快马加鞭。

在摆满各种玻璃容器和实验装备的纯化实验室里，研发人员正在进行填料性能测试。据研发部部长钱吉介绍，大连华邦研制的9N级气体纯化器，可将气体中的杂质脱除至十亿分之一以下，相当于10亿个气体分子中，杂质的含量要小于1个分子。其中，纯化器使用的填料是关键。今年，研发部瞄准国际先进技术，进行氢气低温吸附纯化研究，开发新的填料，争取在年内把低温吸附的填料配方固定下来，利用2年到3年时间，研发出性能成本在市场上具有竞争力的低温吸附型纯化器。

“以前我们是追赶国外技术，现在我们实现了超越。”钱吉说，目前，大连华邦已经有700多台设备投放到市场，运行指标非常好，得到许多在中国的国际性气体公司的充分认可。

随着半导体产业的迅猛发展并不断升级，芯片线宽已经达3纳米级，对纯化器产气纯度的要求越来越高，种类需求也越来越多，“我们争取利用5年到10年时间，站上世界气体纯化领域的最前沿。”对于未来，侯鹏信心满怀。